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 Ultra-low subthreshold swing in oxide TFTs via HiPIMS high-k HfO2 gate dielectric using atmosphere annealing 利用大气退火的HiPIMS高k HfO2栅介质氧化物TFT的超低亚阈值摆幅
相关领域
退火（玻璃）
材料科学
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栅极电介质
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高功率脉冲磁控溅射
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薄膜晶体管
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期刊：Applied Surface Science 作者：Ming-Jie Zhao; Li Wang; Jiahao Yan; Haicheng Li; Hua Xu; et al 出版日期：2024-12-10 |
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