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 Improved SOI FinFETs Performance With Low-Temperature Deuterium Annealing 相关领域
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材料科学
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Ja-Yun Ku; Ji‐Man Yu; Dong-Hyun Wang; Daehan Jung; Joon‐Kyu Han; et al 出版日期：2023-06-01 |
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