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 Optimization of n+ nc-Si:H and a-SiNx:H layers for their application in nc-Si:H TFT n+ nc-Si：H和a-SiNX：H层在nc-Si：H薄膜晶体管中的应用优化
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期刊：Vacuum 作者：Tamila Anutgan; Mustafa Anutgan; İsmail Atılgan; Bayram Katırcıoğlu 出版日期：2011-01-13 |
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