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  Cross‐Sectional Carrier Lifetime Profiling and Deep Level Monitoring in Silicon Carbide Films Exhibiting Variable Carbon Vacancy Concentrations 具有可变碳空位浓度的碳化硅薄膜中的截面载流子寿命分布和深能级监测
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期刊：physica status solidi (a) 作者：Augustinas Galeckas; Robert Karsthof; Kingsly Gana; Angela Kok; Marianne Etzelmüller Bathen; et al 出版日期：2022-11-11 |
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