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标题
[高分] Control of power deposition profile for uniform plasma production in microwave and radio frequency ranges
在微波和射频范围内均匀等离子体产生的功率沉积分布的控制
相关领域
螺旋 微波食品加热 等离子体 电子回旋共振 射频功率放大器 无线电频率 材料科学 沉积（地质） 电子 饱和电流 回旋加速器 光学 原子物理学 光电子学 物理 电压 电气工程 放大器 古生物学 CMOS芯片 量子力学 沉积物 工程类 生物
网址
https://doi.org/10.1051/jp4:1998713
DOI
10.1051/jp4:1998713 doi
其它 期刊：Journal de Physique IV (Proceedings)
作者：Y. Yasaka
出版日期：1998-10-01
求助人
sheyiness 在 2025-10-28 09:49:09 发布自浙江，悬赏 50 积分
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