A Si-based suspended tunnel structure with trapezoidal section by two-step etching

已完结

文献求助详情

标题	A Si-based suspended tunnel structure with trapezoidal section by two-step etching
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6439/ac4460
DOI	10.1088/1361-6439/ac4460 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Tieying Ma; Yipeng Wang; Jinzhu Zhou 出版日期：2021-12-18
求助人	小杨在 2026-09-02 11:04:38 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: lieason发布了新的文献求助10

刚刚; 希望天下0贩的0的应助被彪壮的斩采纳，获得10

刚刚; dde上传了应助文件

刚刚; 优美的高山完成签到，获得积分10

1秒前; 乐观雪卉完成签到，获得积分10

1秒前; 请输入昵称完成签到，获得积分10

1秒前; 455发布了新的文献求助10

2秒前; 大模型上传了应助文件

2秒前; 琪琪发布了新的文献求助20

3秒前; 林峰发布了新的文献求助10

3秒前; 科研通AI6.4的应助被超级柜子采纳，获得10

3秒前; lone623上传了应助文件

3秒前; 打打的应助被浅丿颜采纳，获得10

3秒前; 俊俏的紫菜关闭了俊俏的紫菜的文献求助

4秒前; yryzst9899完成签到，获得积分10

4秒前; SciGPT上传了应助文件

6秒前; prode发布了新的文献求助10

6秒前; 烟花上传了应助文件

6秒前; 寻玉发布了新的文献求助10

6秒前; 川川完成签到，获得积分10

6秒前; 金匀发布了新的文献求助10

8秒前; 斯文败类的应助被哈哈采纳，获得10

8秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

9秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

9秒前; 打打上传了应助文件

9秒前; guo发布了新的文献求助10

10秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

10秒前; lieason发布了新的文献求助10

11秒前; 搜集达人的应助被幽默的擎采纳，获得10

11秒前; ya完成签到，获得积分10

11秒前; CodeCraft上传了应助文件

12秒前; FashionBoy的应助被yezi采纳，获得10

12秒前; jeansblue发布了新的文献求助10

13秒前; 852的应助被扶南采纳，获得10

13秒前; aaaaawaaaa完成签到，获得积分10

14秒前; orixero上传了应助文件

14秒前; Ava上传了应助文件

14秒前; 科研通AI6.2的应助被oia采纳，获得10

15秒前; 万能图书馆上传了应助文件

15秒前; moci发布了新的文献求助30

16秒前