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The mechanism of improving germanium metal–oxide–semiconductor field-effect transistors’ reliability by high-k dielectric and yttrium-doping: From the view of charge trapping
高k介质和钇掺杂提高锗金属氧化物半导体场效应晶体管可靠性的机理&从电荷俘获的角度
相关领域
兴奋剂 材料科学 电介质 光电子学 晶体管 场效应晶体管 俘获 半导体 凝聚态物理 电荷(物理) 氧化物 电气工程 冶金 物理 工程类 电压 生物 量子力学 生态学
网址
DOI
10.1063/5.0112814 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Tao Xiong; Juehan Yang; Hui‐Xiong Deng; Zhongming Wei; Yueyang Liu
出版日期:2022-11-03
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