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Type of Plasmas and Microstructures of TiO[sub 2] Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体增强化学气相沉积TiO[sub 2]薄膜的等离子体类型和微观结构
相关领域
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期刊:Journal of The Electrochemical Society 作者:Ana Borrás; José Cotrino; Agustín R. González‐Elipe 出版日期:2007-01-01 |
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