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Process-Induced Deformations and Stacking Faults in 4H-SiC
4H-SiC中的工艺诱发变形和层错
相关领域
材料科学
堆积
薄脆饼
透射电子显微镜
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期刊:MRS Proceedings 作者:Robert S. Okojie; Xianrong Huang; Michael Dudley; Ming Zhang; Pirouz Pirouz 出版日期:2006-01-01 |
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