| 标题 |
Application of backside fiber optic system for in-situ CMP endpoint detection on shallow-trench isolation wafers |
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| DOI |
10.1117/12.324343
doi
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期刊:SPIE Proceedings 作者:Dmitry V. Bakin; Daniel E. Glen; Mei H. Sun 出版日期:1998-09-03 |
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(2025-6-4)