SU-8: a photoresist for high-aspect-ratio and 3D submicron lithography

已完结

文献求助详情

标题	SU-8: a photoresist for high-aspect-ratio and 3D submicron lithography
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/17/6/r01
DOI	10.1088/0960-1317/17/6/r01 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Aránzazu del Campo; Christian Greiner 出版日期：2007-05-15
求助人	冷艳篮球在 2026-10-09 21:24:54 发布自河北，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Ava的应助被cheng采纳，获得10

2秒前; 思源的应助被TannerPavent采纳，获得10

3秒前; 威武青寒完成签到，获得积分10

4秒前; yoooooooo发布了新的文献求助10

5秒前; SciGPT的应助被3sigma采纳，获得10

13秒前; 思源上传了应助文件

15秒前; Akim的应助被俏皮冰露采纳，获得10

15秒前; 神勇映雁的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 林狗的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; SciGPT上传了应助文件

20秒前; TannerPavent发布了新的文献求助10

21秒前; 李爱国上传了应助文件

21秒前; 英俊的铭的应助被yoooooooo采纳，获得10

22秒前; Akim上传了应助文件

25秒前; 3sigma发布了新的文献求助10

25秒前; louis发布了新的文献求助10

25秒前; 腼腆的夏蓉完成签到，获得积分10

26秒前; 俏皮冰露发布了新的文献求助10

32秒前; 漂亮傲云完成签到，获得积分10

32秒前; 赫连山菡发布了新的文献求助10

33秒前; 渡人舟完成签到，获得积分0

34秒前; 英俊的铭上传了应助文件

35秒前; 充电宝的应助被louis采纳，获得10

39秒前; yoooooooo发布了新的文献求助10

41秒前; 科研通AI6.4的应助被俏皮冰露采纳，获得10

43秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

54秒前; 俏皮冰露发布了新的文献求助10

1分钟前; 包容雁菡完成签到，获得积分10

1分钟前; 打打上传了应助文件

1分钟前; Oooner发布了新的文献求助10

1分钟前; 汉堡包的应助被yoooooooo采纳，获得10

1分钟前; 丰富的德天完成签到，获得积分10

1分钟前; 自律完成签到，获得积分10

1分钟前; 李健上传了应助文件

1分钟前; 天天快乐的应助被俏皮冰露采纳，获得10

1分钟前; 汉堡包上传了应助文件

1分钟前; Gloria发布了新的文献求助10

1分钟前; yoooooooo发布了新的文献求助10

1分钟前; 精明的彩虹完成签到，获得积分10

1分钟前; 天天快乐上传了应助文件

1分钟前