Industrial-scale deposition of nanocrystalline silicon oxide for 26.4%-efficient silicon heterojunction solar cells with copper electrodes

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标题	Industrial-scale deposition of nanocrystalline silicon oxide for 26.4%-efficient silicon heterojunction solar cells with copper electrodes
网址	https://doi.org/10.1038/s41560-023-01388-4
DOI	10.1038/s41560-023-01388-4 doi
其它	期刊：Nature Energy 作者：Cao Yu; Kun Gao; Chen‐Wei Peng; Chenran He; Shibo Wang; et al 出版日期：2023-11-02
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