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标题
Low-Temperature Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride Moisture Permeation Barrier Layers
低温等离子体辅助原子层沉积氮化硅透湿阻挡层
相关领域
材料科学 渗透 原子层沉积 图层（电子） 氮化硅 化学工程 水分 等离子体 阻挡层 硅 沉积（地质） 氮化物 复合材料 光电子学 膜 古生物学 工程类 物理 生物 量子力学 遗传学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.5b06801
AI链接 tue.nl tue.nl tue.nl nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acsami.5b06801 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Anne‐Marije Andringa; Alberto Perrotta; Koen de Peuter; Harm C. M. Knoops; W. M. M. Kessels; et al
出版日期：2015-09-22
求助人
慕烊琪 在 2025-07-07 14:43:52 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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