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 Low-temperature growth of SiC thin films on Si and 6H–SiC by solid-source molecular beam epitaxy 固体源分子束外延在Si和6H-SiC上低温生长SiC薄膜
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期刊：Applied Physics Letters 作者：A. Fissel; Bernd Schröter; W. Richter 出版日期：1995-06-05 |
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