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 Modeling of surface roughness for chemical mechanical polishing of ceramic bearing rollers made of silicon nitride using a diamond film belt 用金刚石膜带化学机械抛光氮化硅陶瓷轴承滚子的表面粗糙度建模
相关领域
材料科学
抛光
表面粗糙度
氮化硅
陶瓷
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表面处理
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X射线光电子能谱
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期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Weifeng Yao; Ruikang Tang; Mehdi Gheisari; Tianqi Zhang; Jinzhong Wu; et al 出版日期：2025-12-05 |
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