Optimization of the Vaporization of Liquid and Solid CVD Precursors: Experimental and Modeling Approaches

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标题	Optimization of the Vaporization of Liquid and Solid CVD Precursors: Experimental and Modeling Approaches
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/cvde.2007066...
DOI	10.1002/cvde.200706600 doi
其它	期刊：Chemical Vapor Deposition 作者：F. Maury; F.‐D. Duminica; F. Senocq 出版日期：2007-11-21
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