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标题
Effects of alcoholic moderators on anisotropic etching of silicon in aqueous potassium hydroxide solutions
醇类慢化剂对硅在氢氧化钾水溶液中各向异性刻蚀的影响
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氢氧化钾 蚀刻（微加工） 水溶液 材料科学 乙二醇 扫描电子显微镜 硅 硅酸钾 化学工程 分析化学（期刊） 化学 无机化学 核化学 纳米技术 复合材料 冶金 有机化学 图层（电子） 硅酸钠 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2004.04.033
DOI
10.1016/j.sna.2004.04.033 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Wen-June Cho; Wei‐Kuo Chin; Ching-Tung Kuo
出版日期：2004-06-09
求助人
asdfghjkl 在 2025-11-27 08:39:35 发布自中国，悬赏 10 积分
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