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标题
Automatic classification and accurate size measurement of blank mask defects
空白掩模缺陷的自动分类和精确尺寸测量
相关领域
空白 计算机科学 过程（计算） 抵抗 可用性 检查时间 薄脆饼 任务（项目管理） 可靠性工程 材料科学 纳米技术 人机交互 心理学 发展心理学 图层（电子） 工程类 操作系统 管理 经济 复合材料
网址
https://doi.org/10.1117/12.2198001
DOI
10.1117/12.2198001 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Samir Bhamidipati; Sankaranarayanan Paninjath; Mark P. Pereira; Peter Buck
出版日期：2015-07-09
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hero_ljw 在 2025-08-22 16:24:26 发布自吉林，悬赏 20 积分
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