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 Tungsten atomic layer deposition on cobalt nanoparticles 钴纳米粒子上钨原子层的沉积
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Christopher A. Wilson; David N. Goldstein; Jarod A. McCormick; Alan W. Weimer; Steven M. George 出版日期：2008-04-08 |
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