Cross-Scale Positioning of Three Degree-of-Freedom Planar Motions With Subnanometer Resolution Using an Encoded Pattern

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标题	Cross-Scale Positioning of Three Degree-of-Freedom Planar Motions With Subnanometer Resolution Using an Encoded Pattern 基于编码模式的亚纳米分辨率三自由度平面运动跨尺度定位
网址	https://doi.org/10.1109/TIM.2025.3589699
DOI	10.1109/TIM.2025.3589699 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Jiyu Li; Tao Chen; Shusheng Bi; Yuliang Wang 出版日期：2025
求助人	卡卡罗特在 2025-08-19 09:04:19 发布自福建，悬赏 10 积分
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