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 Optimization of CVD SiC process and preparation of high-purity coatings based on a thermodynamic-fluid dynamics coupled model 相关领域
材料科学
化学计量学
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期刊：Journal of Central South University 作者：Zhennan Xu; Zhao-ke Chen; Rui Shu; Jia-Xiang Xue; Feng-min-yu Xie; et al 出版日期：2026-03-16 |
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