Study of copper diffusion in RF magnetron sputtered boron carbon nitride thin films - 科研通

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标题	Study of copper diffusion in RF magnetron sputtered boron carbon nitride thin films 射频磁控溅射氮化硼碳薄膜中铜扩散的研究相关领域铜退火（玻璃）材料科学氮化硼二次离子质谱法硼薄膜扩散分析化学（期刊）扩散阻挡层溅射沉积氮化物冶金离子溅射化学复合材料纳米技术图层（电子）有机化学物理热力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/1.4948399
DOI	10.1116/1.4948399 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Adithya Prakash; Kalpathy B. Sundaram 出版日期：2016-05-02
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