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 Effect of temperature and deposition technology on the microstructure, chemistry and tribo-mechanical characteristics of Ti-B based thin films by magnetron sputtering 温度和沉积工艺对磁控溅射Ti-B基薄膜组织、化学性质和摩擦学性能的影响
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
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溅射沉积
薄膜
冶金
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纹理（宇宙学）
薄脆饼
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Silvia Maria Deambrosis; Valentina Zin; Francesco Montagner; Cecilia Mortalò; M. Fabrizio; et al 出版日期：2020-10-27 |
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