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标题
High-speed lateral-scanning white-light interferometry for etched arrays with vertical off-axis compensation
具有垂直离轴补偿的蚀刻阵列高速横向扫描白光干涉测量
相关领域
光学 白光干涉法 白光 干涉测量 补偿（心理学） 材料科学 物理 精神分析 心理学
网址
https://doi.org/10.1364/ol.558647
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1364/ol.558647 doi
其它 期刊：Optics Letters
作者：Zhao Hang; Qi Wu; Zedi Li; Shiyuan Liu; Jinlong Zhu
出版日期：2025-06-03
求助人
liyingbo 在 2025-06-25 10:42:48 发布自陕西，悬赏 10 积分
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