Effect of hydrogen on the chemical state, stoichiometry and density of amorphous Al 2 O 3 films grown by thermal atomic layer deposition

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标题	Effect of hydrogen on the chemical state, stoichiometry and density of amorphous Al 2 O 3 films grown by thermal atomic layer deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1002/sia.7282
DOI	10.1002/sia.7282 doi
其它	期刊：Surface and Interface Analysis 作者：Claudia Cancellieri; Simon Gramatte; Olivier Politano; Léo Lapeyre; Fedor F. Klimashin; et al 出版日期：2024-01-07
求助人	海上森林的一只猫在 2026-07-17 14:30:30 发布，悬赏 10 积分
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