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标题
Wet etch, dry etch, and MacEtch of β-Ga2O3: A review of characteristics and mechanism
网址
https://link.springer.com/content/pdf/10.1557/s43578-021-004...
DOI
10.1557/s43578-021-00413-0 doi
其它 期刊：Journal of Materials Research
作者：Hsien-chih Huang; Zhongjie Ren; Clarence Y. Chan; Xiuling Li
出版日期：2021-11-10
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日耳曼战车 在 2026-07-07 17:54:36 发布自吉林，悬赏 10 积分
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