| 标题 |
Acid diffusion detection in chemically amplified photoresists |
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| DOI |
10.1117/12.3092942
doi
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期刊: 作者:Yi-Fan Shen; Haofan Ji; Runfeng Xu; Jiahui Liu; Wentao Xu; et al 出版日期:2025-12-03 |
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(2025-6-4)