Boosting Mobility of Oxide TFTs via PVD and ALD Hybrid Process - 科研通

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标题	Boosting Mobility of Oxide TFTs via PVD and ALD Hybrid Process
网址	https://doi.org/10.1109/EDTM61175.2025.11041019
DOI	10.1109/EDTM61175.2025.11041019 doi
其它	期刊：2025 9th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM) 作者：Yuhang Zhang; Xiao Li; Shengjie Yang; Huan Yang; Tengyan Huang; et al 出版日期：2025
求助人	youyuguang 在 2026-06-09 15:50:14 发布自四川，悬赏 10 积分
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