Cross-scale Positioning of Three Degree-of-freedom Planar Motions with Sub-nanometer Resolution Using an Encoded Pattern, IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement

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标题	Cross-scale Positioning of Three Degree-of-freedom Planar Motions with Sub-nanometer Resolution Using an Encoded Pattern, IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement
网址	http://dx.doi.org/10.1109/TIM.2025.5039813
DOI	10.1109/TIM.2025.5039813 doi
求助人	185 在 2026-05-18 17:31:49 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
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