Quantitative two-dimensional dopant profile measurement and inverse modeling by scanning capacitance microscopy

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标题	Quantitative two-dimensional dopant profile measurement and inverse modeling by scanning capacitance microscopy 扫描电容显微镜定量二维掺杂物分布测量及逆建模相关领域扫描电容显微镜掺杂剂电容材料科学扫描探针显微镜分析化学（期刊）纳米显微镜兴奋剂化学光电子学光学扫描电子显微镜电极扫描共焦电子显微镜物理物理化学色谱法复合材料
网址	https://doi.org/10.1063/1.114207
DOI	10.1063/1.114207 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Yande Huang; C. C. Williams; J. Slinkman 出版日期：1995-01-16
求助人	hhhh 在 2024-12-20 14:28:45 发布自上海，悬赏 10 积分
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