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标题
Advances in silicon carbide Chemical Vapor Deposition (CVD) for semiconductor device fabrication
网址
https://www.semanticscholar.org/paper/179b370b303317b340b26c...
DOI
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其它 期刊：
作者：J. Powell; J. Petit; L. Matus
出版日期：1991-01-01
求助人
ava 在 2026-09-29 17:10:49 发布自重庆，悬赏 10 积分
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  • 6小时前

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