Surface- and inner-microdefects in annealed silicon wafer containing oxygen

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标题	Surface- and inner-microdefects in annealed silicon wafer containing oxygen 相关领域退火（玻璃）透射电子显微镜材料科学结晶学堆积无定形固体硅叠加断层电子显微镜晶体缺陷薄脆饼铜冶金纳米技术化学位错复合材料光学有机化学物理
网址	https://doi.org/10.1063/1.327419
DOI	10.1063/1.327419 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Fumio Shimura; Hideki Tsuya; T. Kawamura 出版日期：1980-01-01
求助人	hhh 在 2025-11-12 16:37:51 发布自湖北，悬赏 10 积分
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