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![]() 红外反射光谱频率分析测定4H-SiC多层结构的厚度和掺杂特性
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期刊:Technical Physics Letters 作者:A. V. Afanasjev; В. И. Зубков; Vladimir Aleksandrovich Ilyin; В. В. Лучинин; Maria V. Pavlova; et al 出版日期:2024-02-01 |
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JPL3729
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