SU-8: thick photo-resist for MEMS

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标题	SU-8: thick photo-resist for MEMS SU-8：用于MEMS的厚光刻胶
网址	http:// memscyclopedia.org/su8.html.
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	F. Chollet
求助人	111 在 2025-08-19 16:07:01 发布自广东，悬赏 10 积分
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