标题 |
Large-area Flat Optics via Immersion Lithography on CMOS Platform for Laser Beam Shaping
CMOS平台上用于激光整形的大面积平面光学器件
相关领域
浸没式光刻
光学
平版印刷术
CMOS芯片
电子束光刻
材料科学
无光罩微影
梁(结构)
高斯光束
光刻
激光束
光电子学
激光器
物理
抵抗
纳米技术
图层(电子)
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Conference on Lasers and Electro-Optics 作者:Yuan Hsing Fu; Nanxi Li; Lei Chen; Qize Zhong; Yuan Dong; et al 出版日期:2020-01-01 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|