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标题
Large-area Flat Optics via Immersion Lithography on CMOS Platform for Laser Beam Shaping
CMOS平台上用于激光整形的大面积平面光学器件
相关领域
浸没式光刻 光学 平版印刷术 CMOS芯片 电子束光刻 材料科学 无光罩微影 梁(结构) 高斯光束 光刻 激光束 光电子学 激光器 物理 抵抗 纳米技术 图层(电子)
网址
DOI
10.1364/cleo_si.2020.sw4e.4 doi
其它 期刊:Conference on Lasers and Electro-Optics
作者:Yuan Hsing Fu; Nanxi Li; Lei Chen; Qize Zhong; Yuan Dong; et al
出版日期:2020-01-01
求助人
残忆 在 2023-11-03 16:45:14 发布自广西,悬赏 10 积分
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