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Surface stress sensor using MEMS-based Fabry–Perot interferometer for label-free biosensing
基于MEMS法布里——珀罗干涉仪的表面应力传感器用于无标记生物传感
相关领域
材料科学
法布里-珀罗干涉仪
帕利烯
光电子学
聚二甲基硅氧烷
表面应力
微电子机械系统
透射率
光电二极管
生物传感器
干涉测量
光学
纳米技术
聚合物
复合材料
波长
物理
表面能
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期刊:Sensors and Actuators B-chemical 作者:Kazuhiro Takahashi; Hiroki Oyama; Nobuo Misawa; Kōichi Okumura; M. Ishida; et al 出版日期:2013-11-01 |
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