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 Design and Demonstration of an In-Plane Micro-Optical-Electro-Mechanical-System Accelerometer Based on Talbot Effect of Dual-Layer Gratings 基于双层光栅Talbot效应的面内微光电机械系统加速度计的设计与演示
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期刊：Micromachines 作者：Wenqing Chen; Li Jin; Zhibin Wang; Haifeng Peng; Mengwei Li 出版日期：2023-06-25 |
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