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标题
Local capacitance-voltage profiling and deep level transient spectroscopy of SiO2/SiC interfaces by scanning nonlinear dielectric microscopy
扫描非线性介电显微镜研究SiO2/SiC界面的局部电容-电压分布和深能级瞬态光谱
相关领域
电容 深能级瞬态光谱 材料科学 电介质 扫描电容显微镜 光电子学 电压 显微镜 分析化学（期刊） 硅 电气工程 光学 扫描电子显微镜 化学 物理 扫描共焦电子显微镜 物理化学 复合材料 工程类 色谱法 电极
网址
https://doi.org/10.1016/j.microrel.2022.114588
DOI
10.1016/j.microrel.2022.114588 doi
其它 期刊：Microelectronics Reliability
作者：Kohei Yamasue; Yasuo Cho
出版日期：2022-06-11
求助人
晓希凝安 在 2025-12-04 17:20:53 发布自河北，悬赏 10 积分
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