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Low-Temperature Growth of 2D-MoS2 Thin Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Using a New Molybdenum Precursor and Applicability to Gas Sensors 相关领域
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期刊:ACS Applied Nano Materials 作者:Jeong‐Hun Choi; Min‐Ji Ha; Dong Geun Kim; Ji-Min Lee; Ji‐Hoon Ahn 出版日期:2023-06-28 |
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