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 A New Analysis on Reduction of Undesired Beam Bending in Electrostatic Comb Drive MEMS Actuator 相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Banibrata Mukherjee; K. B. M. Swamy; Siddhartha Sen 出版日期：2019-04-02 |
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