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![]() 光束和栅极偏移尺寸对冷阴极电子束x射线焦斑分辨率的影响
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期刊:Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics 作者:Jaydip Sawant; Ketan Bhotkar; Yi Yin Yu; Kyu Chang Park 出版日期:2024-04-02 |
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