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Conditions for Minimizing the Computational Complexity of the RCWA Calculation of the Diffraction Efficiency of Sawtooth Two-Layer Double-Relief Microstructures
RCWA计算复杂度最小化的条件锯齿状双层双浮雕微结构衍射效率的计算
相关领域
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期刊: 作者:G. I. Greĭsukh; A. I. Antonov; E. G. Ezhov; В. А. Данилов; B. A. Usievich 出版日期:2023-05-15 |
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