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Simulation and Optimization of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Unit Based on AlN 基于AlN的压电微机械超声换能器单元的仿真与优化
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期刊:Electronics 作者:Xin Su; Xincheng Ren; Haoji Wan; Xingfang Jiang; Xianyun Liu 出版日期:2022-09-14 |
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