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标题
High Performance, Eco-Friendly SPM Cleaning Technology Using Integrated Bench-Single Wafer Cleaning System
采用集成台式-单晶圆清洗系统的高性能、环保SPM清洗技术
相关领域
薄脆饼 工艺工程 材料科学 环境友好型 纳米技术 计算机科学 系统工程 工程类 生态学 生物
网址
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.314.133
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.314.133 doi
其它 期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena
作者：Fu Ping Chen; Hai Bo Lei; Xiao Yan Zhang; Wenjun Wang; She Na Jia; et al
出版日期：2021-02-09
求助人
zzm 在 2025-12-15 15:56:10 发布自北京，悬赏 30 积分
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