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 MEMS Optical Fiber F–P Hydrophone Based on Corrugated PET Diaphragm 基于波纹PET膜片的MEMS光纤F-P水听器
相关领域
水听器
材料科学
振膜（声学）
微电子机械系统
聚对苯二甲酸乙二醇酯
光纤
压力传感器
灵敏度（控制系统）
声学
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物理
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期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Shuai Li; Yabin Zhang; Chunqiang Ma; Ailin Wang; Yan Wang; et al 出版日期：2023-01-01 |
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