Achieving high carrier concentration β-Ga2O3 epilayers via MOCVD using SiCl4 as dopant

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标题	[高分] Achieving high carrier concentration β-Ga2O3 epilayers via MOCVD using SiCl4 as dopant
网址	https://doi.org/10.1063/5.0304883
DOI	10.1063/5.0304883 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Yaoping Lu; Zhenni Yang; Titao Li; Duanyang Chen; Hongji Qi; et al 出版日期：2026
求助人	冷傲新柔在 2026-01-12 22:40:56 发布自浙江，悬赏 50 积分
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