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 Measurement techniques to improve the accuracy of x-ray mirror metrology using stitching Shack–Hartmann wavefront sensors 使用拼接Shack-Hartmann波前传感器提高x射线反射镜计量精度的测量技术
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光学
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Bharath Reddy Adapa; Guillaume Dovillaire; Amparo Vivo; F.X. Perrin; Rafael Mayer; et al 出版日期：2021-11-01 |
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