Characterization of MEMS piston mirror arrays with comb drive actuator

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标题	Characterization of MEMS piston mirror arrays with comb drive actuator 梳状驱动MEMS活塞镜阵列的表征相关领域执行机构活塞（光学）微电子机械系统梳状致动器表征（材料科学）材料科学变形镜光学声学工程类光电子学电气工程物理制作医学替代医学病理波前
网址	https://doi.org/10.1117/12.3000871
DOI	10.1117/12.3000871 doi
其它	期刊：作者：Sara Francés González; Mario Nitzsche; Anuroop Bajpai; Anmona Shabnam Pranti; Andreas Neudert; et al 出版日期：2024-03-12
求助人	命运在 2025-06-10 15:24:26 发布自陕西，悬赏 20 积分
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