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Atomic layer deposition of tungsten and tungsten-based compounds using WCl5 and various reactants selected by density functional theory
用WCl5和密度泛函理论选择的各种反应物原子层沉积钨和钨基化合物
相关领域
原子层沉积 硼烷 化学气相沉积 氨硼烷 二甲胺 化学工程 放热反应 沉积(地质) 薄膜 化学 金属 材料科学 图层(电子) 纳米技术 无机化学 催化作用 有机化学 古生物学 制氢 沉积物 工程类 生物
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2021.150373 doi
求助人
南枝瑾 在 2025-04-28 12:57:39 发布自上海,悬赏 10 积分
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