Kinetic simulation of a 50 mTorr capacitively coupled argon discharge over a range of frequencies and comparison to experiments

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标题	Kinetic simulation of a 50 mTorr capacitively coupled argon discharge over a range of frequencies and comparison to experiments
网址	https://pubs.aip.org/aip/pop/article-pdf/doi/10.1063/5.01573...
DOI	10.1063/5.0157347 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Saurabh Simha; Sarveshwar Sharma; Alexander Khrabrov; Igor Kaganovich; Jonathan Poggie; Sergey Macheret 出版日期：2023-08-16
求助人	ZXCVB 在 2026-03-16 16:07:31 发布自陕西，悬赏 10 积分
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